电子束蒸发是一种现代化工产业先进生产技术，被广泛应用于半导体、显示器、LED等电子信息产业、锂电池、太阳能光伏等新能源产业，以及航空航天、制造业等领域。该技术可以准确控制材料的蒸发成分和结构形态，生产出高精度、高稳定性的电子器件。
电子束蒸发技术的原理是在真空或低压环境下，通过将大功率电子束束流照射在加热样品表面来使得样品中原子、分子的结构紊乱变得更严重，从而达到蒸发固体的目的。这样产生的蒸汽会沉积在其他的材料表面上，形成一层薄膜。该薄膜具有非常好的稳定性、致密性和均一性。
电子束蒸发技术相对于其他薄膜制备技术的特点在于可以用较高的蒸发速率在大气压下制备薄膜，避免了底部从真空蒸发过程中产生的裂纹和粒度堆积等不利因素。因为使用电子束蒸发技术蒸发的材料原子或者分子可以很好的平均分布在表面，使得在光电子或者传导电子等特殊情况下更加稳定，不容易导致材料的退化和损伤。
